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等離子體是繼固體、氣體、液體三態后，列為物質的第四態，由正離子、負離子、電子和中性離子組成，因體系中正負電荷總數相等，故稱為“等離子體”。
等離子體按粒子溫度可分為平衡態（電子溫度=離子溫度）與非平衡態（電子溫度>>離子溫度）兩類。
非平衡態等離子體電子溫度可上萬度，離子及中性離子可低至室溫，即體系表觀溫度仍很低，故稱“低溫等離子體”，一般由氣體放電產生。
低溫等離子體技術是近年發展起來的廢氣處理新技術，低溫等離子體處理廢氣的原理為： 
當外加電壓達到氣體的放電電壓時，氣體被擊穿，產生包括電子、各種離子、原子和自由基在內的混合體。低溫等離子體降解污染物是利用這些高能電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在極短的時間內發生分解，以達到降解污染物的目的。
5.2 等離子區工藝特點
1  高效的處理效果：低溫等離子廢氣處理設備效率可以去除到90%
2      運行費用低：工業等離子廢氣凈化設備采用專利的蜂窩電場、臥式結構，阻力小。減少了風機的阻力，降低了運行費用；設備本身采用先進的高壓控制系統和高壓電源，轉換效率高，耗電低。
3      維護方便：需要定時清洗的部件為可拆卸的模塊化組合，這樣既方便設備日常的清洗維護，也有利于這些部件的維修替換。
4      可升級性：設備都采用標準法蘭連接的組合式結構，使設備具有可升級性。模塊化凈化單元可以靈活組合，根據不同的凈化處理量及凈化率要求，單元數量可作適應性調整。
5      占地面積?。涸O備的電源和設備在一起，無需另建電源控制室，節省廠房面積。
6      運行的持續性：采用分組供電的方式；即使某一組電場放電或故障，其他組還可以正常工作，不影響設備的運行，保證設備運行的持續性。
7      設計周密：高電壓電源精心設計成環氧樹脂嚴密封閉的單元體，采用分組供電、分組控制，使用安全。 
8      安全性：設備配有防火網、防火閥、溫度檢測系統、消防滅火系統，確保設備安全穩定運行。 
9      氣流方向：臥式結構，用戶安裝的時候，風管、凈化設備和抽風機可以方便地橫向排列起來，方便布局，減少風阻；同時便于凈化器均風，從而提高除氣效率。
10    陰陽極距采用窄間距結構：單位體積里容納了較大的陽極面積，體積小，除氣效果好
11    設備的安裝：設備較輕，無需特別的基礎。主體設備在工廠安裝調試好。安裝成本低、時間短，容易達到設計效果