感謝各位用戶的關注,佛山大鵬旭峰氣體公司專業為化工、鋼鐵、電子、冶金、能源等行業提供的氣體產品(氬氣,氮氣,氧氣,乙炔,混合氣,二氧化碳)。
氣體名稱:高純氬氣、氬氣、液氬
氣體純度:99.995%
包裝規格:40L GB5099 鋼瓶,液氬杜瓦罐,或按客戶要求配制
閥門出口:QF-2閥門,G5/8螺紋出口
符合國標GB/T 10624-1995,氬氣純度>99.999%,氮含量<5ppm,氧含量<2ppm,氫含量<1ppm,總碳含量(以甲烷計)<2ppm,水分含量<4ppm。
氬氣時目前應用廣的惰性氣體,氬氣的性質非常穩定,既不能燃燒,也不助燃,氬氣在工業和機械制造部門往往被作為焊接保護氣,防止焊接件被空氣氧化或氮化,在空氣中含有的0.932%的氬氣,沸點在氧氣、氮氣之間,在分離氧氣、氮氣的同時,將氬氣分離出來進一步提純,也可得到氬氣。
氬氣的特殊用途:
用于焊接、不銹鋼制造、冶煉,還用于半導體制造工藝中的化學氣相淀積、晶體生長、熱氧化、外延、擴散、多晶硅、鎢化、離子注入、載流、燒結等氬氣作為制作單晶及多晶硅的保護氣,為了提高硅晶體的質量,如何選用較高純度的氬氣,是制作硅晶體的一個議題,通過對本裝置的使用,氬氣的純度其中氧含量小于1ppm時,水分也小于1ppm時,制作出的單晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm,這樣就提高了單晶的使用壽命并能達到要求,贏得客戶的滿意和市場的需求,由于一般液氬汽化后未經過純化處理,它的氧含量一般在2ppm~5ppm,有時氣體供應商提供的氬氣超過了此范圍,但使用氬氣的客戶確不知道其質量,所以往往給生產產品質量造成影響,有了氬氣純化裝置后不論氬原料氣的質量如何,只要經過純化裝置的處理后,進入拉晶爐的氬氣,純度始終是恒定的,一般 O2<0.2ppm,水分<1ppm,這樣穩定的氬氣對生產晶體質量是有保證的。
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