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高純氮氣現場生產裝置采用低溫工藝流程，生產過程中將有冷量損失，有的高純氮氣生產裝置為此配備了氣體膨脹機產生低溫以補償冷量損失；有的高純氮氣生產裝置雖然采用的仍是低溫精餾流程，但摒棄了補償冷量的機械設備膨脹機，取而代之的是采用外部的液氮直接補償的所需的低溫含量。這種無膨脹機的高純氮氣生產裝置因減少了機械故障而提高了裝置運行的可靠性，無膨脹機的高純氮氣生產裝置的液氮補充量約占高純氮氣產量的3%左右。
整套高純氮氣現場生產裝置除 了空氣壓縮機、熱部、冷箱之外，還有一個重要的部分即液氮（或高純液氮）系統(tǒng)，這個液氮（或高純液氮）系統(tǒng)有三個功能；可補償生產過程中的冷損；用氣量的調峰，氮氣生產裝置停機是產品氣的備用。
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