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ULVAC愛發(fā)科LR1800干式真空泵維修 干泵LR/HR/UR series通過獨自的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實現(xiàn)了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。另外，提高了干泵的維護(hù)保養(yǎng)性能以及減少了噪音，全機種都能適用
ULVAC愛發(fā)科LR1800干式真空泵維修
干泵LR/HR/UR series通過獨自的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實現(xiàn)了CVD、蝕刻等硬流程的高耐久性。輕流程的話通過搭配ECO-SHOCK可以多減少約80%的用電量。另外，提高了干泵的維護(hù)保養(yǎng)性能以及減少了噪音，全機種都能適用。關(guān)于CEO-SHOCK的詳細(xì)信息
特點
LR Series:低溫領(lǐng)域均熱化
針對于惰性氣體的排氣增加,特別是為了提高處理能力,縮短排氣時間
HR Series/UR Series:高溫領(lǐng)域均熱化
CVD、蝕刻法等發(fā)生時，升華性排氣物質(zhì)的可以以氣體狀態(tài)排出
1000msec以內(nèi)的瞬停對策
可以對應(yīng)CE
用途
活性氣體（CVD、干腐蝕等）
惰性氣體排氣（濺射、蒸著、熱處理等）
排氣時間縮短（LR Series)
粉體發(fā)生時的過程排氣（Si單結(jié)晶提高等）
輔助排氣泵（漩渦分子泵、機械泵的輔助排氣）
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