萬(wàn)級(jí)凈化車間是將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將十萬(wàn)級(jí)凈化車間內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。凈化車間亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 凈化車間主要之作用在于控制產(chǎn)品所接觸之大氣的潔凈度日溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為凈化車間（潔凈室）。

 

萬(wàn)級(jí)凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣，將室內(nèi)的污染逐漸排出，來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng)，拌有回流或渦流，不同等級(jí)的凈化車間，主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來(lái)實(shí)現(xiàn)。

萬(wàn)級(jí)凈化車間標(biāo)準(zhǔn)包括哪些內(nèi)容？

 

1.塵粒允許數(shù)（每立方米）；

 

2.大或等于 0.5 微米的粒子數(shù)不得超過(guò) 350000 個(gè)，大或等于 5 微米的粒子數(shù)不得超過(guò) 2000 個(gè)；

 

3.微生物允許數(shù)；

 

4.浮游菌數(shù)不得超過(guò) 100 個(gè)每立方米；

 

5.沉隆菌數(shù)不得超過(guò) 3 個(gè)每培養(yǎng)皿。

 

壓差：相同潔凈度等級(jí)的凈化車間壓差保持一致，對(duì)于不同潔凈

 

等級(jí)的相鄰凈化車間之間壓差要≥5Pa，凈化車間與非凈化車間之間

 

要≥10Pa。

 

萬(wàn)級(jí)凈化車間對(duì)溫度、濕度無(wú)特殊要求時(shí)，以穿著潔凈工作服不產(chǎn)生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季 20~22℃；夏季 24~26℃；波動(dòng)±2℃。冬季凈化車間濕度控制在 30－50％，夏季凈化車間濕

 

 

度控制在 50－70％。

 

配電：凈化車間（區(qū)）的主要生產(chǎn)用房一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為

200~300Lx。

 

噪聲控制

 

1、動(dòng)態(tài)測(cè)試時(shí)，萬(wàn)級(jí)凈化車間內(nèi)的噪聲級(jí)不應(yīng)超過(guò) 70 分貝 A。

 

2、靜態(tài)測(cè)試時(shí)，萬(wàn)級(jí)亂流凈化車間的噪聲級(jí)不宜大于 60 分貝 A。

 

萬(wàn)級(jí)凈化車間參數(shù)要求：

 

換氣次數(shù)：100000 級(jí)≥15 次；10000 級(jí)≥20 次；1000≥30 次； 100≥500 次.壓差：

 

主車間對(duì)相鄰房間≥5Pa

 

平均風(fēng)速：10 級(jí)、100 級(jí) 0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜

 

26℃；波動(dòng)±2℃。

 

溫度 45－65％；GMP 粉劑車間濕度在 50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。

 

噪聲≤65dB（A）；新風(fēng)補(bǔ)充量是總送風(fēng)量的 10％－30％；照度 300LX。

 

千級(jí)凈化車間和萬(wàn)級(jí)凈化車間的區(qū)分標(biāo)準(zhǔn)：

 

(一)凈化車間之等級(jí) 各國(guó)均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209 為多，以下僅就 209D 及 209E 和上其它各國(guó)制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。 209E 與 209D 等之不同在于 209E 表示單位增加了公制單位，凈化車間等級(jí)以｀M′字頭表示，如 M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國(guó)際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M 字

 

母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm 之微塵粒子數(shù)目字以 10 的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以 1.5、2.5、3.5….表示。 美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) FS 209D

 

都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以 0.1μm 微粒子為計(jì)數(shù)標(biāo)準(zhǔn)。日本標(biāo)準(zhǔn)之表示法以 Class 1，

 

Class 2，Class 3……Class8 表示，等級(jí)為 Class 1，則為 Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數(shù)中化為 10 的冪次方，取

其指數(shù)而得。 (二)凈化車間控管之項(xiàng)目 1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。 2. 能防止微塵粒子之產(chǎn)生。 3. 溫度和濕度之控制。 4. 壓

 

力之調(diào)節(jié)。 5. 有害氣體之排除。 6. 結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。 7. 靜

 

電之防制。 8. 電磁干擾預(yù)防。 9. 安全因素之考慮。 10. 節(jié)能之考量。

 

萬(wàn)級(jí)凈化車間分類

 

1、工業(yè)凈化車間——以無(wú)生命微粒的控制為對(duì)象。主要控制空氣塵埃微粒對(duì)工作對(duì)象的污染，內(nèi)部一般保持正壓狀態(tài)。 它適用于精密機(jī)械工業(yè)、電子工業(yè)（半導(dǎo)體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。

 

2、生物凈化車間，主要控制有生命微粒（細(xì)菌）與無(wú)生命微粒（塵埃）對(duì)工作對(duì)象的污染。又可分為； A、 一般生物凈化車間，主要控制微生物（細(xì)菌）對(duì)象的污染。同時(shí)其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，內(nèi)部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內(nèi)部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)凈化車間。例：制藥工業(yè)、醫(yī)院（手術(shù)室、無(wú)菌病房）食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗(yàn)室、理化檢驗(yàn)室、血站等。

 

B、 生物學(xué)安全凈化車間：主要控制工作對(duì)象的有生命微粒對(duì)外界和

 

人的污染。內(nèi)部要保持與大氣的負(fù)壓。例：細(xì)菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗(yàn)室、物物工程（重組基因、疫苗制備）

 

萬(wàn)級(jí)凈化車間所需檢測(cè)項(xiàng)目

 

1.氣流速度及其均勻度檢測(cè)，這項(xiàng)檢測(cè)是凈化車間效果的其他各項(xiàng)檢

 

測(cè)的前提，這

 

項(xiàng)檢測(cè)的目的是為了明確單向流凈化車間工作區(qū)的平均氣流通度及其均勻性。

 

2.系統(tǒng)或房間的風(fēng)量檢測(cè)。

 

3.室內(nèi)潔凈度的檢測(cè)。潔凈度的檢測(cè)是為了確定潔凈環(huán)境可達(dá)到的空

 

氣潔凈度級(jí)別，可采用粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)。

 

4.自凈時(shí)間的檢測(cè)。通過(guò)確定自凈時(shí)間，查明凈化車間內(nèi)部發(fā)生污染時(shí)恢復(fù)其原有潔凈度的能力。

 

5.氣流流型檢測(cè)。

 

6.噪聲的檢測(cè)。

 

7.照度的檢測(cè)。照度檢測(cè)的目的是為了判明凈化車間的照度水平和照

 

度的均勻性。

 

8.振動(dòng)的檢測(cè)。振動(dòng)檢測(cè)的目的是為了判明凈化車間各表明的振動(dòng)幅

 

度。

 

9.溫、濕度的檢測(cè)。溫、濕度檢測(cè)的目的是把溫度、濕度調(diào)整到一定

 

限度內(nèi)的能力。其內(nèi)容包括檢測(cè)凈化車間的送風(fēng)溫度，檢測(cè)有代表性測(cè)點(diǎn)的空氣溫度，檢測(cè)凈化車間中心點(diǎn)的空氣溫度，檢測(cè)敏感元件處的空氣度，檢測(cè)室內(nèi)空氣相對(duì)溫度，檢測(cè)回風(fēng)溫度。

 

10.總風(fēng)量和新風(fēng)量的檢測(cè)。

 

萬(wàn)級(jí)凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內(nèi)的空氣，將室內(nèi)的污染逐漸排出，來(lái)實(shí)現(xiàn)潔凈效果。室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動(dòng)，拌有回流或渦流，不同等級(jí)的凈化車間，主要是依靠單位時(shí)間內(nèi)所送風(fēng)量的不同來(lái)實(shí)現(xiàn).。 目前有十萬(wàn)級(jí)和三十萬(wàn)級(jí)兩種標(biāo)準(zhǔn)。

 

萬(wàn)級(jí)凈化車間的作用

 

凈化車間主要作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為「凈化車間」。各國(guó)均有自定規(guī)格，但普遍還是用美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) 209 為多，以下僅就 209D 及 209E 和上其它各國(guó)制定標(biāo)準(zhǔn)作介紹與相互比較。209E 與 209D 等之不同在于

 

209E 表示單位增加了公制單位，凈化車間等級(jí)以‵M′字頭表示，如 M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國(guó)際公制單位之標(biāo)準(zhǔn)化，M 字母后之阿拉伯?dāng)?shù)目字是以每立方公尺中>=0.5μm 之微塵粒子數(shù)目字以 10 的冪次方表示，取指數(shù)為之，若微塵粒子數(shù)介于前后二者完全冪次方之間，則以 1.5、2.5、3.5….表示。