萬級凈化車間是將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將十萬級凈化車間內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。凈化車間亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。 凈化車間主要之作用在于控制產品所接觸之大氣的潔凈度日溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為凈化車間（潔凈室）。

 

萬級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內的空氣，將室內的污染逐漸排出，來實現潔凈效果。室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動，拌有回流或渦流，不同等級的凈化車間，主要是依靠單位時間內所送風量的不同來實現。

萬級凈化車間標準包括哪些內容？

 

1.塵粒允許數（每立方米）；

 

2.大或等于 0.5 微米的粒子數不得超過 350000 個，大或等于 5 微米的粒子數不得超過 2000 個；

 

3.微生物允許數；

 

4.浮游菌數不得超過 100 個每立方米；

 

5.沉隆菌數不得超過 3 個每培養皿。

 

壓差：相同潔凈度等級的凈化車間壓差保持一致，對于不同潔凈

 

等級的相鄰凈化車間之間壓差要≥5Pa，凈化車間與非凈化車間之間

 

要≥10Pa。

 

萬級凈化車間對溫度、濕度無特殊要求時，以穿著潔凈工作服不產生舒服感為宜，溫度一般控制在冬季 20~22℃；夏季 24~26℃；波動±2℃。冬季凈化車間濕度控制在 30－50％，夏季凈化車間濕

 

 

度控制在 50－70％。

 

配電：凈化車間（區）的主要生產用房一般照度值宜≥300Lx；輔助工作室、人員凈化和物料凈化用室、氣閘室、走廊等的照度值宜為

200~300Lx。

 

噪聲控制

 

1、動態測試時，萬級凈化車間內的噪聲級不應超過 70 分貝 A。

 

2、靜態測試時，萬級亂流凈化車間的噪聲級不宜大于 60 分貝 A。

 

萬級凈化車間參數要求：

 

換氣次數：100000 級≥15 次；10000 級≥20 次；1000≥30 次； 100≥500 次.壓差：

 

主車間對相鄰房間≥5Pa

 

平均風速：10 級、100 級 0.3－0.5m/s；溫度 冬季＞16℃；夏季 ＜

 

26℃；波動±2℃。

 

溫度 45－65％；GMP 粉劑車間濕度在 50％左右為宜；電子車間濕度略高以免產生靜電。

 

噪聲≤65dB（A）；新風補充量是總送風量的 10％－30％；照度 300LX。

 

千級凈化車間和萬級凈化車間的區分標準：

 

(一)凈化車間之等級 各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯邦標準 209 為多，以下僅就 209D 及 209E 和上其它各國制定標準作介紹與相互比較。 209E 與 209D 等之不同在于 209E 表示單位增加了公制單位，凈化車間等級以｀M′字頭表示，如 M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標準化，M 字

 

母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm 之微塵粒子數目字以 10 的冪次方表示，取指數為之，若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間，則以 1.5、2.5、3.5….表示。 美國聯邦標準 FS 209D

 

都以英制每立方英呎為單位，日本則是采用公制，即以每立方公尺為單位，以 0.1μm 微粒子為計數標準。日本標準之表示法以 Class 1，

 

Class 2，Class 3……Class8 表示，等級為 Class 1，則為 Class 8，以每立方公尺中微塵粒子總數中化為 10 的冪次方，取

其指數而得。 (二)凈化車間控管之項目 1. 能除去空氣中飄游之微塵粒子。 2. 能防止微塵粒子之產生。 3. 溫度和濕度之控制。 4. 壓

 

力之調節。 5. 有害氣體之排除。 6. 結構物與隔間之氣密性。 7. 靜

 

電之防制。 8. 電磁干擾預防。 9. 安全因素之考慮。 10. 節能之考量。

 

萬級凈化車間分類

 

1、工業凈化車間——以無生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態。 它適用于精密機械工業、電子工業（半導體、集成電路等）宇航工業、高純度化學工業、原子能工業、光磁產品工業（光盤、膠片、磁帶生產）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤、電腦磁頭生產等多行業。

 

2、生物凈化車間，主要控制有生命微粒（細菌）與無生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為； A、 一般生物凈化車間，主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時其內部材料要能經受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實質上其內部材料要能經受各種滅菌處理的工業凈化車間。例：制藥工業、醫院（手術室、無菌病房）食品、化妝品、飲料產品生產、動物實驗室、理化檢驗室、血站等。

 

B、 生物學安全凈化車間：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和

 

人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例：細菌學、生物學、潔凈實驗室、物物工程（重組基因、疫苗制備）

 

萬級凈化車間所需檢測項目

 

1.氣流速度及其均勻度檢測，這項檢測是凈化車間效果的其他各項檢

 

測的前提，這

 

項檢測的目的是為了明確單向流凈化車間工作區的平均氣流通度及其均勻性。

 

2.系統或房間的風量檢測。

 

3.室內潔凈度的檢測。潔凈度的檢測是為了確定潔凈環境可達到的空

 

氣潔凈度級別，可采用粒子計數器檢測。

 

4.自凈時間的檢測。通過確定自凈時間，查明凈化車間內部發生污染時恢復其原有潔凈度的能力。

 

5.氣流流型檢測。

 

6.噪聲的檢測。

 

7.照度的檢測。照度檢測的目的是為了判明凈化車間的照度水平和照

 

度的均勻性。

 

8.振動的檢測。振動檢測的目的是為了判明凈化車間各表明的振動幅

 

度。

 

9.溫、濕度的檢測。溫、濕度檢測的目的是把溫度、濕度調整到一定

 

限度內的能力。其內容包括檢測凈化車間的送風溫度，檢測有代表性測點的空氣溫度，檢測凈化車間中心點的空氣溫度，檢測敏感元件處的空氣度，檢測室內空氣相對溫度，檢測回風溫度。

 

10.總風量和新風量的檢測。

 

萬級凈化主要靠潔凈的氣流不斷稀釋室內的空氣，將室內的污染逐漸排出，來實現潔凈效果。室內的氣流是以不均勻的速度呈不平行流動，拌有回流或渦流，不同等級的凈化車間，主要是依靠單位時間內所送風量的不同來實現.。 目前有十萬級和三十萬級兩種標準。

 

萬級凈化車間的作用

 

凈化車間主要作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產品能在一個良好之環境空間中生產、制造，此空間我們稱之為「凈化車間」。各國均有自定規格，但普遍還是用美國聯邦標準 209 為多，以下僅就 209D 及 209E 和上其它各國制定標準作介紹與相互比較。209E 與 209D 等之不同在于

 

209E 表示單位增加了公制單位，凈化車間等級以‵M′字頭表示，如 M1、M1.5、M2.5、M3…..依此類推，配合國際公制單位之標準化，M 字母后之阿拉伯數目字是以每立方公尺中>=0.5μm 之微塵粒子數目字以 10 的冪次方表示，取指數為之，若微塵粒子數介于前后二者完全冪次方之間，則以 1.5、2.5、3.5….表示。