點擊圖片查看大圖PDC200/210/510等離子清洗機
高頻輸出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）,電極尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）適用于研究開發的小型等離子清洗機。
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。
用途
?CSP、BGA、COB基板的等離子清洗
?去除有機膜和金屬氧化膜
?印刷電路基板的干式清洗
?界面活性處理
?LED封裝
特征
?DP模式（PDC510標配·PDC200/210選配）
?RIE模式
?均勻性高的電極構造
?操作簡單的觸摸屏控制器
規格
|
型號 |
PDC200 |
PDC210 |
PDC510 |
|
等離子模式 |
RIE（DP模式選配） |
RIE/DP |
|
|
電極構造 |
平行平板（固定） |
||
|
高頻輸出 |
Max300W |
Max500W |
|
|
頻率 |
13.56MHz |
||
|
控制·顯示 |
液晶觸摸屏 |
||
|
反應室尺寸 |
W400×D250×H150mm |
W500×D300×H200mm |
|
|
電極尺寸 |
W250×D170mm |
W400×D200mm |
|
|
反應室材質 |
鋁 |
||
|
反應氣體 |
2系統（Ar、O2） |
||
|
填充氣體 |
N2或干燥空氣 |
||
|
反應氣體流量控制 |
流量計 |
聚合控制器 |
|
|
真空泵 |
另行選配 |
油泵（約345L/分）標配 |
油泵（約500L/分）標配 |
|
氣體導入口 |
反應氣體2個、填充氣體1個 |
||
|
外形尺寸 |
W540×D600×H600mm |
W540×D600×H600mm |
W700×D700×H1285mm |
|
重量 |
約100kg |
約105kg |
約180kg |
|
電源 |
單相 AC100V 10A |
三相AC200V 6A |
三相AC200V 8A |
免責聲明：（1）以上所展示的信息由企業自行提供，內容的真實性、準確性和合法性由發布企業負責，環球塑化網對此不承擔任何保證責任。我們原則上建議您優先選擇“塑企通”會員合作! （2）同時我們鄭重提醒各位買/賣家，交易前請詳細核實對方身份，切勿隨意打款或發貨，謹防上當受騙。如發現虛假信息，請向環球塑化網舉報。
簡繁切換