特長
● 低溫領域下的均熱化。 ● 低噪音、低振動
● 優(yōu)良的耐腐蝕性 ● 多種自主功能選購件
用途
◆ 活性氣體◆ 非活性氣體◆ 用于產生粉塵工藝中的排氣◆ 作為前級泵使用◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣
*1 極限壓力是氮氣(密封氣體)在5.0 SLM時的值。
*2 無結露。
*3 用調節(jié)閥所調整的壓力表的值。
*4 氮氣(密封氣體)流量5.0 SLM是固定值。
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愛發(fā)科NRL90A干式真空泵維修
產品屬性
詳細信息 特長 ● 低溫領域下的均熱化。 ● 低噪音、低振動 ● 優(yōu)良的耐腐蝕性 ● 多種自主功能選購件 用途 ◆ 活性氣體◆ 非活性氣體◆ 用于產生粉塵工藝中的排氣◆ 作為前級泵使用◆ 冷凍干燥等水蒸氣排氣 *1 極限壓力是氮氣(密封氣體)在5.0 SLM時的值。 *2 無結露。 *3 用調節(jié)閥所調整的壓力表的值。 *4 氮氣(密封氣體)流量5.0 SLM是固定值。
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