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產品名稱： 國產全自動射頻匹配器 VENA-500 
產品型號： VENA-500 
基本參數： 500W 
  產品介紹： 
    Auto RF Match VENA系列說明
    　　VENA系列自動匹配器用于0-1500W的真空鍍膜、等離子刻蝕、等離子清洗、物理氣象沉積，化學氣象沉積，磁控濺射，以及太陽能制造設備PECVD等設備當中，主要功能是實現全自動匹配，解決了現在國內真空鍍膜設備中的一個技術空缺；目前國內主要真空設備廠家的產品大多使用手動匹配器，使用起來十分不便，在設備啟動后抽真空加功率起輝過程中，要不斷地調整手動匹配器的阻抗而使輸出達到工藝的要求，而自動匹配器則可以彌補這一缺陷，具有自動，快速，可靠，高效，準確，節省人力和時間等特點?？蛇x的射頻系統檢測模塊可實時檢測出系統的正反功率、駐波比、射頻信號峰值電壓、電流、直流偏置電壓等，從而使您能夠發現并顯著降低制程變化性。產品覆蓋500W, 1000W, 1500W等功率。 
    
    VENA-500
    
    　主要功能特性
    頻率 13.560MHz
    大傳輸功率 500w
    反射功率（大功率時） <3w
    大負荷電流 10ARMS
    大負荷電壓 4000VRMS
    傳輸效率 >90%
    負載阻抗 50Ω
    RF輸入連接器 50 Ω, UHF（或N-type）, female
    大等離子直流偏置電壓 0 to 2.000 VDC
    直流偏置電壓檢測值 0~5VDC
    匹配時間 3~5s
    主電感 8圈
    主電容 空氣電容
    可匹配阻抗實部范圍 0~80Ω
    可匹配阻抗虛部范圍 -j200~~+j100
    RF輸入連接器 50 Ω, UHF（或N-type），可自定制
    　接口與冷卻方式
    控制接口 自動手動控制窗口
    冷卻方式 風冷
    風流量 48CFM
    　電源
    AC電源 220VAC
    AC頻率 50/60Hz
    電源功率因素 90%(大功率時)
    　機械特性
    表面安裝螺絲 6-32螺絲
    重量 5kg
    尺寸 430mm（D）x220mm（W）x130mm（H），或可自定制
 
產品名稱： 工業級、軍品級一體化電源(AD—YT系列)